1. Identificação | |
Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
Site | mtc-m21c.sid.inpe.br |
Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
Identificador | 8JMKD3MGP3W34R/3SMPHSL |
Repositório | sid.inpe.br/mtc-m21c/2019/02.07.15.03 (acesso restrito) |
Última Atualização | 2019:02.07.15.03.29 (UTC) administrator |
Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m21c/2019/02.07.15.03.29 |
Última Atualização dos Metadados | 2020:01.06.11.42.08 (UTC) administrator |
DOI | 10.1016/j.mssp.2018.12.031 |
ISSN | 1369-8001 |
Chave de Citação | OliveiraVieiSilv:2019:EnAcGa |
Título | Enhancement of acetylene gas sensing properties for a ZnO-based gas sensorproduced by plasma immersion ion implantation and deposition |
Ano | 2019 |
Mês | Apr. |
Data de Acesso | 18 maio 2024 |
Tipo de Trabalho | journal article |
Tipo Secundário | PRE PI |
Número de Arquivos | 1 |
Tamanho | 1283 KiB |
|
2. Contextualização | |
Autor | 1 Oliveira, Rogério de Moraes 2 Vieira, Maxton S. 3 Silva, Matheus M. N. F. |
Identificador de Curriculo | 1 8JMKD3MGP5W/3C9JJ6L |
Grupo | 1 LABAP-COCTE-INPE-MCTIC-GOV-BR |
Afiliação | 1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 2 Instituto Federal da Bahia (IFBA) 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
Endereço de e-Mail do Autor | 1 rogerio.oliveira@inpe.br |
Revista | Materials Science in Semiconductor Processing |
Volume | 93 |
Páginas | 339-344 |
Nota Secundária | A2_ENGENHARIAS_IV B5_ASTRONOMIA_/_FÍSICA |
Histórico (UTC) | 2019-02-07 15:04:36 :: simone -> administrator :: 2019 2020-01-06 11:42:08 :: administrator -> simone :: 2019 |
|
3. Conteúdo e estrutura | |
É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
Estágio do Conteúdo | concluido |
Transferível | 1 |
Tipo do Conteúdo | External Contribution |
Tipo de Versão | publisher |
Palavras-Chave | ZnO-based gas sensor Plasma immersion ion implantation Fast time response High sensitivity Low working temperature |
Resumo | Zinc oxide (ZnO) based gas sensors with sensitivities reaching 90% and time responses as low as two seconds foracetylene sensing (1 vol%), were produced by means of plasma immersion ion implantation and deposition (PIII&D). In the process, after the generation of an argon glow discharge, metallic zinc is vaporized, partially ionizedand implanted/deposited into/onto silicon substrates without the aid of catalysts or buffer layers. Calcination isperformed after treatment in atmospheric pressure at 500 °C, for 10 h, leading to the achievement of poly-crystalline ZnO nanostructures. The resistance change of the sensor was monitored by varying the respectiveworking temperature from 140 °C up to 280 °C for three different acetylene concentrations (1, 2, 3 vol%). Besidesthe high sensitivity and the fast response time, the recovery time was also measured and the repeatability of thesensor was tested by feeding and cutting the working gas supply into the measuring system at regular timeintervals. |
Área | FISPLASMA |
Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Enhancement of acetylene... |
Conteúdo da Pasta doc | acessar |
Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
Conteúdo da Pasta agreement | |
|
4. Condições de acesso e uso | |
Idioma | en |
Arquivo Alvo | Oliveira_enhancement.pdf |
Grupo de Usuários | simone |
Visibilidade | shown |
Permissão de Leitura | deny from all and allow from 150.163 |
Permissão de Atualização | não transferida |
|
5. Fontes relacionadas | |
Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS |
Acervo Hospedeiro | urlib.net/www/2017/11.22.19.04 |
|
6. Notas | |
Campos Vazios | alternatejournal archivingpolicy archivist callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel dissemination e-mailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes number orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readergroup rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarykey session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url |
|
7. Controle da descrição | |
e-Mail (login) | simone |
atualizar | |
|