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1. Identificação
Tipo de ReferênciaArtigo em Revista Científica (Journal Article)
Sitemtc-m21c.sid.inpe.br
Código do Detentorisadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S
Identificador8JMKD3MGP3W34R/3SMPHSL
Repositóriosid.inpe.br/mtc-m21c/2019/02.07.15.03   (acesso restrito)
Última Atualização2019:02.07.15.03.29 (UTC) administrator
Repositório de Metadadossid.inpe.br/mtc-m21c/2019/02.07.15.03.29
Última Atualização dos Metadados2020:01.06.11.42.08 (UTC) administrator
DOI10.1016/j.mssp.2018.12.031
ISSN1369-8001
Chave de CitaçãoOliveiraVieiSilv:2019:EnAcGa
TítuloEnhancement of acetylene gas sensing properties for a ZnO-based gas sensorproduced by plasma immersion ion implantation and deposition
Ano2019
MêsApr.
Data de Acesso18 maio 2024
Tipo de Trabalhojournal article
Tipo SecundárioPRE PI
Número de Arquivos1
Tamanho1283 KiB
2. Contextualização
Autor1 Oliveira, Rogério de Moraes
2 Vieira, Maxton S.
3 Silva, Matheus M. N. F.
Identificador de Curriculo1 8JMKD3MGP5W/3C9JJ6L
Grupo1 LABAP-COCTE-INPE-MCTIC-GOV-BR
Afiliação1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
2 Instituto Federal da Bahia (IFBA)
3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
Endereço de e-Mail do Autor1 rogerio.oliveira@inpe.br
RevistaMaterials Science in Semiconductor Processing
Volume93
Páginas339-344
Nota SecundáriaA2_ENGENHARIAS_IV B5_ASTRONOMIA_/_FÍSICA
Histórico (UTC)2019-02-07 15:04:36 :: simone -> administrator :: 2019
2020-01-06 11:42:08 :: administrator -> simone :: 2019
3. Conteúdo e estrutura
É a matriz ou uma cópia?é a matriz
Estágio do Conteúdoconcluido
Transferível1
Tipo do ConteúdoExternal Contribution
Tipo de Versãopublisher
Palavras-ChaveZnO-based gas sensor
Plasma immersion ion implantation
Fast time response
High sensitivity
Low working temperature
ResumoZinc oxide (ZnO) based gas sensors with sensitivities reaching 90% and time responses as low as two seconds foracetylene sensing (1 vol%), were produced by means of plasma immersion ion implantation and deposition (PIII&D). In the process, after the generation of an argon glow discharge, metallic zinc is vaporized, partially ionizedand implanted/deposited into/onto silicon substrates without the aid of catalysts or buffer layers. Calcination isperformed after treatment in atmospheric pressure at 500 °C, for 10 h, leading to the achievement of poly-crystalline ZnO nanostructures. The resistance change of the sensor was monitored by varying the respectiveworking temperature from 140 °C up to 280 °C for three different acetylene concentrations (1, 2, 3 vol%). Besidesthe high sensitivity and the fast response time, the recovery time was also measured and the repeatability of thesensor was tested by feeding and cutting the working gas supply into the measuring system at regular timeintervals.
ÁreaFISPLASMA
Arranjourlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Enhancement of acetylene...
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agreement.html 07/02/2019 13:03 1.0 KiB 
4. Condições de acesso e uso
Idiomaen
Arquivo AlvoOliveira_enhancement.pdf
Grupo de Usuáriossimone
Visibilidadeshown
Permissão de Leituradeny from all and allow from 150.163
Permissão de Atualizaçãonão transferida
5. Fontes relacionadas
Unidades Imediatamente Superiores8JMKD3MGPCW/3ET2RFS
Acervo Hospedeirourlib.net/www/2017/11.22.19.04
6. Notas
Campos Vaziosalternatejournal archivingpolicy archivist callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel dissemination e-mailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository nextedition notes number orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readergroup rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarykey session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype url
7. Controle da descrição
e-Mail (login)simone
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